2022年10月25日，中国上海——10月25日，中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称中微公司MOCVD另一个里程碑受到设备系列的欢迎第500台MOCVD国内专业从事设备顺利运输LED研发和制造外延片和芯片。这个里程碑不仅仅是中微公司MOCVD充分证明了产品的卓越性能和服务的专业优势，也认可和肯定了公司持续创新的技术能力和稳步发展的综合实力。

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本批次运输的第500台MOCVD该设备于2021年6月由中微公司推出Prismo UniMax，主要用于氮化镓基Mini LED大规模生产外延片。近年来，随着光电产业的快速发展，Mini LED广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示、车载显示、户外显示等终端产品。

自推出以来， Prismo UniMax MOCVD该设备以其优异的波长均匀性、高能效、高产能等优点迅速得到了市场的认可，专业的团队及时的现场支持和详细、标准化的技术服务也受到了客户的青睐。作为一种高性能Mini LED量产设计MOCVD设备，Prismo UniMax具有高产能、高灵活性的特点，在同一时间Microsemi代理一个系统可配备多达4个反应腔，每个反应腔可独立控制。Prismo UniMax配置了785mm通过石墨托盘的不同设计配置，大直径石墨托盘最多可加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能，降低生产成本。此外，Prismo UniMax创新的多区辅助加热调节系统可以准确控制托盘局部区域的温度，有助于更大程度地提高LED波长均匀性。

中微公司MOCVD设备Prismo UniMax

目前，中微公司开发了一系列MOCVD行业内主要设备LED量产已全面投入生产线。Prismo UniMax是MOCVD该产品系列还包括新一代设备系列产品Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年，中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE。此后，中微公司于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5产品。

这个里程碑是中微公司在未来取得的又一个重要突破MOCVD进一步发展产品市场奠定了坚实的基础。中微公司副总裁兼MOCVD产品事业部总经理郭世平说:我们为中微公司开发的一系列系列系列感到非常自豪。MOCVD该设备得到了客户和市场的广泛认可，部分产品在细分领域的市场份额居世界第一。未来，随着新应用的进一步扩大，我们将继续促进与客户的密切合作和沟通，通过技术领域的不断创新，不断为客户提供有竞争力的产品和解决方案，实现稳定发展和深度双赢，共同为行业创造更美好的明天。”