(原标题:光刻机巨头阿斯麦CEO：不卖EUV是中国大陆政府的选择)

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【文/观察者网 吕栋】

这不是我们的选择，而是政府（瓦森纳协议成员国）的选择。荷兰光刻机巨头阿斯麦CEO温彼得再次出口到中国大陆EUV光刻机解释说。他今年1月表示，中国不太可能独立复制。（replicate）顶级的光刻技术，但也不那么绝对，他们肯定会尝试。

观察者网注意到，由于最先进EUV自2021年以来，温彼得多次表示，设备无法出口到中国大陆。2021年4月，他呼吁美国政府对中国的出口管制不仅会阻碍中国的技术进步，还会损害美国自身的经济。限制出口只会加快中国自主研发的速度。

但美国显然对温彼得的声明视而不见。

2021年7月，美国官员透露，拜登政府正在确认EUV在科技产业的战略价值之后，光刻机选择延续特朗普时期的政策。温彼得随后表示，该公司将不得不观察中国大陆的变化。

随着全球芯片短缺抱怨产业链，阿斯麦作为最关键的半导体生产设备——光刻机制造商，越来越受到行业的关注。美国消费者新闻和商业频道（CNBC）最近对阿斯麦总部进行了实地考察。

图源：ASML

因为缺芯，每天都在挣扎

费尔德霍芬，一个靠近荷兰南部比利时边境的小镇（Veldhoven），世界上唯一能生产极紫外光刻机的家庭（EUV）阿斯麦企业（ASML）。在数据中心，汽车和iPhone在提供计算能力的先进半导体制造中，EUV光刻是最昂贵的一步。

阿斯麦垄断了极紫外光刻机的制造，我们今天使用的每一个先进处理器都需要使用EUV美国塔夫茨大学光刻机。（Tufts University）克里斯·米勒说，每一个EUV光刻机是历史上最复杂的设备之一，重180吨。

EUV是极紫外光（Extreme Ultraviolet）这是一种波长极短的光，阿斯麦生产的设备可以在硅片上雕刻大量的小而复杂的电路。极紫外线是由二氧化碳激光每秒喷射5万次的液体锡滴（molten tin）这种光通过直径0.65米的椭球反射镜送入光刻机。一些极紫外线颗粒被照射到硅片表面，然后雕刻出决定每个芯片功能的小图案。

极紫外光刻机内部

由于全球芯片短缺，索尼的游戏机PS5.雪佛兰汽车的订单积压开始出现，芯片制造商对阿斯麦EUV对光刻机的需求大幅增加。自2018年底以来，阿斯麦股价飙升超过340%，使得该公司的市值超过了英特尔等一些大客户。

阿斯麦CEO温彼得（Peter Wennink）该公司自成立38年以来一直致力于降低半导体的生产成本，并将在未来几十年继续这样做。温彼得说：世界需要更多的芯片，所以我们需要制造更多的机器。顺便说一句，只要我们能继续降低每个晶体管的生产成本，这些光刻机的平均价格就会继续上涨。

即便如此，温彼得还是认为全球芯片短缺对阿斯麦来说是Catch-22(第二十二条军规意味着进退两难，左右为难)。

我们从供应商那里收到了很多信息，他们说，‘嘿，我们可能会推迟向您交付模块，因为我们无法获得芯片。’我们说，‘如果我们得不到芯片，我们就不能制造机器来生产更多的芯片。’温彼得承认阿斯麦仍在运营，但每天都在挣扎。

阿斯麦CEO温彼得

荷兰公司严重依赖美国零部件

据温彼得透露，阿斯麦在过去10年里卖出了140台EUV现在每个光刻系统的价格高达2亿美元，而下一代的高值孔径（High NA）EUV光刻机的价格将超过3亿美元。

市场调研机构Semico Research乔安妮，制造业总经理·伊托评论说，阿斯麦EUV光刻系统太贵了，大多数公司都买不起。她认为，包括芯片制造商格罗方德在内的许多制造商将被排除在市场之外。格罗方德于2018年宣布停止7，因为成本太高nm以下先进工艺的研发。

现在，阿斯麦EUV只有五个客户(台积电、三星、英特尔、SK海力士和美光)。2021年，最大的三大客户——台积电、三星和英特尔占阿斯麦业务量的84%。台积电表示，该公司于2019年率先采用EUV从那以后，光刻机一直处于领先地位，芯片制造至少领先于三星和英特尔。

CNBC阿斯麦在光刻机领域的主导地位仍然是一个相对较新的现象。十年前，该公司开始进军EUV研发由英特尔、三星和台积电的重大投资决定。

1999年加入阿斯麦的温彼得说：我们没有钱，我们出去寻找合作伙伴，这实际上是我们建立公司的基础。因此，我们被迫成为系统架构师和系统集成商。

回到1984年，阿斯麦成立时是荷兰电子巨头飞利浦的子公司。在荷兰艾恩德霍芬飞利浦办公楼旁边的一个漏水的小房间里，阿斯麦在20世纪50年代在美国军事实验室发明了第一台半导体光刻设备。

阿斯麦开启光刻机研发的地方 图源：ASML

阿斯麦负责第一个光刻工具看起来像投影仪EUV业务执行副总裁克里斯托弗·福凯（Christophe Fouquet）基本上会有一标记来保存你想要投影的图像。然后有一个光学系统，它将图像投射到晶圆上。

到1988年，阿斯麦在美国有5个办事处，共有84名员工，并在荷兰费尔德霍芬设立了新的办事处，最终成为该公司的总部。

半导体行业准备进入EUV在研究的早期阶段，没有一家美国公司准备冒险尝试这个昂贵而危险的项目，但阿斯麦做出了不同的选择，即将出版的芯片战争：世界上最关键的技术战争作者米勒说，阿斯麦是一家荷兰公司，但它也是一家严重依赖美国部件的荷兰公司，特别是在其设备上。

这是政府的选择

EUV光刻机由来自世界各地近800家供应商的多个模块和数十万个部件组成。每个模块都在全球60个阿斯麦办公室开发和生产，然后运到费尔德霍芬组装。每台组装好的机器经过测试后将被拆卸并运送给芯片制造商。EUV光刻机的IR代理运输需要20辆卡车和3架波音747飞机。

阿斯麦没有出口中国大陆EUV温彼得说：世界上42个国家（瓦森纳协议成员国）已经同意实施出口管制，因为它非常关键，温彼得说，所以这不是我们的选择，而是政府的选择。

美国对荷兰政府的压力早在特朗普任期内就开始了。查尔斯是美国总统副国家安全顾问·库珀曼（Charles Kupperman）2019年，他邀请荷兰外交官到白宫，并向后者施加压力，称忠实盟友不会出售给中国大陆EUV这类设备。库珀曼还警告荷兰，如果没有美国零部件，阿斯麦的设备将无法运行，白宫有权限制这些零部件出口荷兰。

中国(大陆)想加入这场比赛。Semico Research的乔安妮·但由于政治原因，中国(大陆)无法获得这项技术。

极紫外光刻机正在工作 图源：阿斯麦

然而，阿斯麦正在以另一种方式与中国大陆做生意。该公司更新了所谓的深紫外线（DUV）旧的光刻系统，并向中国大陆出售给中国大陆。温彼得透露，96%的阿斯麦设备仍在使用中。

关于向中国大陆出售更多信息DUV米勒说：提高其生产接近尖端半导体的能力是否也是一种‘国家安全风险’，存在许多争议，我认为阿斯麦在未来几年将向中国出售DUV设备的能力也可能受到新的限制。

EUV芯片制造商可以从阿斯麦、尼康和佳能三家公司购买DUV光刻机。

尽管日本尼康仍然是光刻机市场的竞争对手之一，但阿斯麦是EUV唯一的供应商。外国行业专家认为，其他公司可能需要几十年才能赶上，一方面是因为阿斯麦拥有专有技术，另一方面是因为阿斯麦与数百家供应商达成了复杂而独家的协议。

温彼得说：我们对一些客户来说是独一无二的，一些供应商对我们来说也是独一无二的，一些人说，这种几乎共生的关系比婚姻更糟糕，因为你不能离婚。

2021年第四季度，阿斯麦光刻机出货信息

今年1月，温彼得对中国大陆市场说：中国不太可能独立复制（replicate）顶级的光刻技术，因为阿斯麦依赖于不懈的创新，并整合了只能从非中国供应商那里获得的部件。但我的意思并不是绝对不可能的，因为中国的物理定律和我们一样。永远不要那么绝对，他们肯定会尝试的。

半导体是一个高风险的行业，阿斯麦是收购一些供应商的一种方式，比如位于圣地亚哥的美国Cymer，它是EUV大功率光源制造商。2020年，阿斯麦还收购了德国Berliner Glas，这是一家陶瓷和光学模块制造商，支持实现EUV和DUV产品开发蓝图非常重要。今年1月，Berliner Glas一场火灾发生了，但温彼得说，这场火灾不会对今年的设备运输产生重大影响。

财务报告显示，阿斯麦2021年总收入为186亿欧元(约1339亿元），同比增长33%；净利润为59亿欧元（约425亿元），同比增长66%；毛利率为53%，比去年同期增长4个百分点。 预计2022年销售额将增长20%，未来10年复合增长率将增长11%。