在科技创新板开市三周年之际，中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称中微公司)作为科技创新板首批上市的25家企业之一，也迎来了上市三周年。攀登勇者，志在巅峰。随着科创新委员会成立以来，依托强有力的政策和财政支持，半导体设备龙头股坚持创新驱动发展，实践科学管理规则，实现业绩稳步增长，在技术创新、业务发展、产业链协调、人才建设等方面取得了重大进展。

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· 公司营业收入和利润分别达到31.08亿元和10.11亿元，是2019年销售和利润的1.5倍和5.3倍；

· 截至2021年底，公司已申请2012项专利，其中发明专利1741项；

· 2021年共生产付运ICP蚀刻设备134腔，产量同比增长235%；

· 2021年，公司员工1048人，其中研发人员占39.6%，人均创收再创新高，同比增长15.5%。

建立科技创新委员会，实行注册制度，为科技创新产业的发展注入新的活力，为高新技术企业的发展创造新的机遇。尹志公司董事长兼总经理尹志尧博士说：在科技创新板上市对中微公司具有重要意义。回顾过去三年，我们拓宽了融资渠道，增强了品牌的市场影响力，赢得了更多与产业链上下游企业合作的机会；另一方面，良好的股权激励政策也使我们能够更好地激励员工，建团队，加快发展，为世界领先的一流设备公司铺平道路。”

2019年7月22日，中微公司在首批25家科技创新企业集体上市仪式上合影留念。

国际领先的尖端产品，构建企业硬技术的实力

中微公司致力于开发打造具有国际竞争力的技术创新和差异化产品，为客户和市场提供性能优越、生产效率高、性价比高的设备解决方案，开发微观加工设备。

中微公司凭借国内首款高端等离子体刻蚀机，已成为国内高端微观加工设备的领头羊。在蚀刻设备方面，中微等离子体蚀刻设备已批量应用于65纳米至14纳米、7纳米、5纳米、更先进的集成电路加工制造和先进包装，其中 CCP等离子体蚀刻设备产品继续保持竞争优势，部分关键客户的市场份额已进入前三甚至前两位；ICP蚀刻设备在客户端也取得了突破，2021年付运超过130腔，同比增长超过230%。

在MOCVD中微公司用于氮化镓基LED外延生产的MOCVD该设备已在行业领先的客户生产线上大规模投入大规模生产，中微公司已成为世界领先的氮化镓基LED设备制造商，并继续保持行业领先地位。

此外，中微公司还在开发应用于集成电路后道的先进封装设备MEMS、Mini LED国际先进设备产品等领域。截至2021年底，中微公司已有2300多洲50多家芯片制造公司0多家芯片制造公司提供70多条生产线。

高效利用资金，创新动能蓄势发力

中微公司上市后，高效利用募集资金，不断创新、提高效率、精益经营，与客户和合作伙伴合作共赢，稳步提高产品订单和销售。2021年，中微企业营业收入和利润创历史新高，营业收入同比增长36.7%至31.08亿元，归属于母公司的净利润同比增长105.5%至10.11亿元，是2019年科技创新板上市当年销售和利润的1.5倍和5.3倍。

中微公司作为一家实力雄厚的硬科技公司，登陆科技创新板后，继续保持高水平的研发投入。R&D投资大，R&D投资比例高，保证了公司专注于高端微加工设备的自主R&D和创新。自上市三年以来，公司继续推进以研发创新为驱动的优质增长战略的实施。2021年，公司研发同比增长13.8%，占2021年营业收入的23.42%。截至2021年底，中微拥有多项自主知识产权和核心技术，申请2012项专利，其中发明专利1741项，授权专利1179项，其中发明专利993项。

硬科技的实力离不开一支技术精湛、勇于创新的国际人才队伍。上市后，中微公司实施了第二类限制性股票激励计划，基本覆盖全体员工，吸引和留住优秀人才，确保核心技术团队和技术开发的稳定性和可持续性。全员持股的激励制度和双赢合作的团队精神吸引了世界各地经验丰富的半导体设备专家，形成了成熟的研发和工程技术团队。2021年，公司研发人员415人，占员工总数的39.6%；同时，公司人均收入再创新高，达到326万元，同比增长15.5%。

2021年，公司成功完成再融资发行，募集资金约82亿元，是继2019年科技创新板上市后支撑企业快速发展的又一里程碑。公司不断提高R&D投资的强度和效率，有效保证了公司在科技创新、高水平R&D团队建设、科学合规运营、国内外业务拓展、领先客服支持等方面的质量，不断提升企业的综合竞争力，积累产品、技术和运营能力的重要储备。随着筹集资金的到位，公司加快了南昌研发生产基地和上海临港产业化基地的建设。未来两年，中微公司将全面建现有面积大十倍以上的工厂，进一步扩大高端设备生产能力，提高研发能力和科技创新水平，为高速、稳定、安全的大发展奠定坚实基础。

南昌R&D生产基地约14万平方米(图左)，上海临港新区R&D生产基地约18万平方米，总部大楼约10万平方米(图右)。

打造具有国际竞争力的平台企业

作为中国领先的高端微观加工设备公司，除了加快技术创新，提高产业规模外，整合产业链上下游及相关资源是中微企业的另一个动力点。中微公司希望充分发挥其行业影响力和聚集力 ，积极推进国内外多家领先的半导体设备、材料和关键部件配套企业的协调发展，共同建设企业创新联盟，逐步形成产业集群。

中微公司在保持快速发展的道路上，通过不断的探索和实践，积极践行企业社会责任，帮助实现和实现国家双碳目标Epson代理。2022年4月，中微公司首次发布 “ESG 《环境、社会和治理报告》充分展示了其在提高产品质量和服务、完善治理机制、履行社会责任、保护环境等方面的一系列措施和成果。

上市三周年也标志着中微企业迎来了新的成长阶段。公司坚决实施科学管理和经营体系，不断提高企业经营质量，坚持四十为中心，通过产品开发、战略销售、经营管理、精神文化行业宣传输出，与国内外合作伙伴实现技术进步，共同促进半导体产业的快速发展。

未来，中微公司将继续瞄准世界科技前沿，继续实施三维发展战略，深化集成电路关键设备领域，扩大泛半导体关键设备应用，积极探索其他新兴领域，微型公司进入国际竞争平台企业集团，以硬技术实力加快科技力量建设，实现高水平科技发展。