Applied Materials公布适用于3nm与GAA下一代晶体管制造工具
(2024年9月28日更新)
上个月,三星代工(Samsung Foundry)部门悄然宣布其定位 2022 年 2 季度开始使用 3GAE 生产芯片的技术工艺。作为业内第一个使用芯片的人 GAA 晶体管的 3nm 可以看出,这个术语指的是3nm环栅晶体管和早期Vishay代理地制造 GAA 晶圆厂还必须配备必须配备新的生产工具。来自应用材料(Applied Materials)公司的下一代工具将为三星等晶圆厂提供服务 GAA 芯片制造支持。
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(来自:Applied Materials 官网 ,via AnandTech )
为了满足芯片设计师的需求,预计新工艺将实现更低的功耗、更高的性能和晶体管密度。然而,近年来,这种组合一直难以实现 —— 晶圆厂必须克服漏电等负面影响,
为了缩放晶体管的尺寸,保持其性能和电气参数,芯片电气参数 2012 年初,从平面晶体管过渡到 FinFET(鳍场效应晶体管)增加晶体管沟与栅极之间的接触面积。
顾名思义,环栅场效应晶体管(GAAFET)沟渠是水平的,所有四面都被栅极包围,从而很好地解决了与漏电有关的尴尬。
但这还不是 GAAGET 以纳米片为基础的唯一优势 / 纳米带的 GAAFET 为了获得更高的性能或降低功耗,晶圆厂还可以调功耗。
三星的 3GAE 和 3GAP 这个过程就是使用所谓的纳米带技术。该公司甚至使用它 GAAFET 称为多桥通道场效晶体管(MBCFET),划清与纳米线竞争方案的界限。
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